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¡¡¡¡Õâ¸ö³¤Í¾¿ªÍ¨ºó£¬×¨ÒµÀïµÄµç»°·ÑͻȻ±©ÕÇ£¬²»ÉÙÈ˶¼»áÅÜÀ´ÓÃһϡ£ÕâÀïҲ˵²»Ç壬ÄÄЩÊǹ«Ê£¬ÄÄЩÊÇ˽Ê¡£
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¡¡¡¡Áõ¸£ÐËÒ²²»¿ÍÆø£¬Á¬Ðø¸øÉϺ££¬Ïã¸Û£¬ÈÕ±¾»¹Óе¹ú¶¼¹ÒÁ˵绰£¬Ò»¸öµç»°±ÈÒ»¸öµç»°µÄ¼¶±ð¸ß¡£ÓÉÓÚÊÇÅ·ÖÞµÄÔ糿£¬ÏÖÔÚ´òµç»°£¬ÕýÊÇʱºò¡£
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¡¡¡¡Ò»¸öÊÇѧУ¶ÔÕâÖÖ¶ÔÍâºÏ×÷µÄÏîÄ¿£¬±È½ÏÖØÊÓ£¬³§¼ÒµÄÈËÀ´ÁË£¬Í¨ÖªÒ»ÏÂÏà¹ØÁìµ¼£¬»¹ÊÇÓ¦¸ÃµÄ¡£
¡¡¡¡ÁíÒ»¸ö£¬Ëû¸Ð¾õµ½»¹Êǵ͹ÀÁËMEMS³É¹ûµÄ¾­¼Ã¼ÛÖµ£¬»¹ÊÇÀ´¸ö¸ü´óµÄÁìµ¼£¬°Ñ°Ñ¹Ø±È½ÏºÃһЩ¡£
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