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重生之北国科技-第176部分
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凭此一个技术，中国就可以在半导体工艺上，实现对世界先进水平的反超！
更重要的是，这个技术需要什么开发成本吗？
所有的设备，都是现有设备啊！
这个项目只要做成，不仅仅是成永兴，包括严亮和叶静，都会名声大噪。一次搞出三个工程院院士，绝对没有问题。
第480章 真假1微米（3）
“这个项目要严格保密！多重图案技术，绝对不可以外传。它会一直保密。一直到我们的真1微米工艺出来，直到我们的晶圆产业走上正轨。”
成永兴的一句话，就浇灭了两个伙伴的热情。
“真1微米？怎么工艺还出来真假了？”
“对，这个多重图案化技术，就是个假的。”
“那真的是什么样的？”
两个人都来了兴趣。孙悟空有真假，是因为有人冒充。怎么工艺还有真假？能实现，就是真的啊！
“真的工艺技术，是靠真功夫，而不是这种取巧的方法。”
“工艺上哪有取巧的方法，你的ODF难道不是取巧？”
叶静一撇嘴，对这种奇谈怪论不以为意。
这位同乡，是个实用主义渗透到骨子里的人。黑猫白猫论，天天挂在他的嘴上。
为了达到目的，想出来的各种奇思怪想，经常让人觉得匪夷所思。
这些方法，在科班出身的人眼里，很多都是离经叛道，甚至是大逆不道的事情。
别人搞自动化，他搞人海战术。别人搞流水线，他用小推车。
好好的一个LCD车间，现在被分割成了大大小小的一堆小房子。人员出来进去，要不断的沐浴更衣。
为了解决这个问题，大家不得不考虑在车间内部，再搭建一个空中走廊，为这些操作员工及工件提供一个快速通道。
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王青山一帮人，没事的时候，也对成永兴的奇怪思维方式进行了一些总结。
最后大家达成了一致看法，那就是他的这种思维方式，完全是由于其没有受过正统教育造成的。
这个年轻人，出名太早，太快，导致他根本来不及接受正常教育。在这种情况下，他还要做事情，自然，乱七八糟的东西就来了。
不过让大家比较无法理解的，不是这名年轻人的才华，而是他的运气。这些乱七八糟的东西，反科学，反传统，反理论的方法，居然还能用！
这让一大批学工艺的，学设备设计的硕士，和博士，到哪里说理去？
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“不谈这个问题了。多重图案化技术，一定要严格保密。它的密级甚至在ODF之上，我们要做好三，五年之内，不对外宣布的心理准备。”
“这又是为了什么？为什么有成果不宣布？”
两个人倒不是对出名感兴趣。
自从进了LCD项目组，这一年多，两个人是一篇论文都没有发表过，反而是童子军的师弟，师妹们，还在不断发表成果。
但他们也不嫉妒。随着视野的不断提高，人的想法也慢慢变了。既然走上了这条不归路，就继续走下去把。
他们现在只是单纯的好奇。
随着全彩的TFT…LCD的面世，ODF工艺早晚也会被人知道。虽然这种解密的过程不是主动的，但天下没有不透风的墙。
TFT…LCD生产车间，虽然禁止外人参观，但是设备厂家的人总要在场吧。整个生产线上涉及到的设备，上百种，也就是说，大量设备厂家的人，都能够进入到生产车间。
TFT…LCD也不是第一天才出现，它只是第一次出现在大尺寸的显示器里。
这个生产过程中，该有什么，不该有什么，大家也都知道。就是以前不清楚，现在也该清楚了。别的不说，没有毛细法这一件事情，本身就把秘密泄露出去了。
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“不为什么。就是这样。”
这个技术的影响力，在后世看，也许还感觉不到什么，因为这已经是一个被普遍采用的技术。
但在这个时代，它就是核弹级的技术。它可以使晶圆工艺，直接向前推进十年！
中国的晶圆工艺，比国外落后十年，靠着一个工艺，就可以追平，甚至赶超。
那这样不是挺好的吗？
好什么？
这个技术一旦流传出去，后果是什么？
4。86直接就变成100。86了！
全世界的半导体工艺，直接就跳入到纳米时代了。
这个技术对弱者而言，只是给他们加装了一条腿，让残疾人可以站起来。但是对于强者来说，那就是加装了翅膀！直接飞向宇宙了！
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在这个时代，中国在半导体方面的力量，实在是太弱了。
半导体设备落后，芯片设计上基本空白，晶圆厂，有也基本上等于没有。
新世纪中国在半导体产业，虽然落后，但是追的速度还算可以。其中一个很大原因，就是整个世界，半导体产业的科技进步速度，实际上放缓了。
摩尔定律，某种程度上已经失效。世界在14nm上停留了三四年。这里的典型，就是intel在10 nm上停留了接近5年时间。这种技术上的停顿，给后来者带来了机会。
在这个时代，如果公开了这个技术，带给这些落后国家的芯片产业，那可真是降维打击了。
如果没有这个技术，中国的半导体技术，还有芯片设计，在玩具，盗版游戏机的带动下，仍然可以缓慢发展。
虽然落后，但慢慢的，底蕴还是在增长。人才，技术，经验，也在慢慢积累。
正是这些一点一滴的积攒，才给后世的厚积薄发，提供了一个很好的平台。
在新世纪，为什么中国可以在半导体产业取得巨大的成功？
没有531，907，908，909等一系列工程，培养出来的大批人才，怎么可能？
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但在这个时代，中国并没有准备好接受这种先进武器。
第一，这个时代，没有晶圆代工产业。
这就意味着，没有独立的芯片设计公司。这个芯片厂，能发挥多大作用呢？
第二，没有市场。
现在所有的晶圆厂，都是为特殊需求定制。这个工厂，如果仅仅是为了LCD芯片而创建，产量可以自足，但根本没有发展空间。没有足够的利润牵引，先进的技术也会慢慢落后。
日本的几家光刻机厂是怎么衰落的，就是在光刻机领域，他们整整损失了一代的订单，然后就彻底失去了发展的机会。
在半导体下游产业没有发展起来的时候，这个技术宁可毁掉，也不能让它流传出去。
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“好吧，你说什么就是什么了！你说的真1微米指的是什么？”
“这里面涉及了一个关键CMP抛光技术。它是我们继续向下突破的关键。”
其实在整个90年代，制约芯片进程的关键，都不是光刻机。而是其它技术。
在接下来几年，晶圆工艺进步，其中最重要的就是CMP技术。
集成电路制造过程好比建房子，每搭建一层楼层都需要让楼层足够水平齐整，才能在其上方继续搭建另一层楼，否则楼面就会高低不平，影响整体可靠性。
使楼层整体平整的技术，在集成电路中制造中用的就是抛光技术。
CMP技术，是普通抛光技术的高端升级版本。
这个技术，它是从0。35微米步进到0。25微米的关键工艺。为了制造多层结构的3D高密度集成电路，必须使用CMP平坦化技术，代替传统的方法。
这个技术，真正进入视线，就是从92年6月开始。它的大规模普及，则是在94年以后。
成永兴对CMP技术抱以厚望。希望这个在更高制程上使用的关键技术，可以作为降维打击的武器，拉动现在中国的晶圆技术，强行上个台阶。
此时中国从2微米到1微米，到底是被什么技术卡住了，他还真不知道，因为后世没有这方面的资料。
术业有专攻。每一个子方向，都代表着全新的专业和技术。
机械，化学，材料，物理，光学，电子，量子，算法，除了核物理，其他的，但凡能想到的，都在晶圆产业里被涉及了。
LED时代，成永兴可以靠小聪明加刻苦，冒充一把天才。
到了LCD时代，他就无法介入到细节工作，因为LCD所涉及到的领域，已经过于庞大和庞杂。
而到了晶圆时代，如果他再跑到前线去冒充专家，那就是自取其辱了。
他需要做的，就是给冲锋在前的战士们，指引正确的前进方向。
第481章 真假1微米（4）
“这些CMP技术也要交给我们俩弄吗？”
今天得到信息量太大了。两个年轻人很有种目不暇接的感觉。
多重图案技术，一听就明白，也就敢照亮照亮。但是CMP技术，涉及的就是就是真刀真枪了。
机械研磨，研磨液怎么办，研磨速度，机加工精度，这里面就没有一个是简单的。
他们两个与成永兴多少面临同样的问题，那就是毕竟学习时间太短，基础知识不牢靠。
“这几个技术，我会交给其他人进行研发。”
这个CMP技术，也很重要，但它就没有保密的必要了。因为它本身就是一个公开的技术。现在就是比，谁先采用了。早采用，早受益。它完全可以光明正大的搞起来。
这也是为什么这个技术，被叫做真1微米的原因。
CMP技术摆在前台做幌子，多重图案技术藏在后面。
“是要交给赵主任他们吗？”
“我会另外安排。你们就不用管了。”
这确实是个令人头疼的问题。
工大在集成电路工艺上面，这两年也做出了些成果，但毕竟底蕴不足。
另外，术业有专攻。只靠一个专业的十几个人，去包打天下，根本就不现实。
赵主任领着一群弟子，已经在集成电路设计方面，狂奔了起来。那么就让他们继续走下去吧。
这些技术，很多都是系统性的。它甚至不是靠一两台设备，一两个设备厂家能搞定的。
引入第三方力量，就是必须。
不过这个事情不急。幌子的作用，主要还是幌子。
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“我们现在干什么？”
“第一步还是先来验证概念，另外要试验一下，看LELE和 SAMP 这两条路，哪一条更容易实现，难度最低。”
多重图案技术法，有两条实现路线。一条是LELE，另一条是SAMP。
LELE 是将设计版图分解成两套独立的低密度图形，通过两次单独曝光和两次单独刻蚀，然后叠加在一起，形成更精细的图案。
SAMP 是通过一次光刻形成核心图形，然后通过沉积（Deposition）在核心图案两侧形成侧墙（Side Wall），最后通过刻蚀（Etch）和修剪曝光来实现所要的图形。
“这两条路，是你提出来的，你自己不知道？”
严亮觉得这个事情有点奇怪。
“我又没有自己动手做过，我哪里知道？”
“这真是你自己的想法？”
“你问这么多干什么？好奇心太大，会害死猫，你不知道吗？”
“我们又不是猫！不说算了，谁稀罕！”
一个人又不是生活在真空里，只要时间长了，总是要漏出些马脚的。以前，成永兴每次还会去找借口解释，慢慢的，他连借口都懒得找了。
这也是他只相信身边这几个人的缘故。至少这些同学，同乡，他信得过。
可惜了，当初的黄埔军团，只剩下这两个人。由于缺乏可信助手的缘故，他的很多想法，都无法执行了。
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“这样搞的话，908工程根本就没有必要了啊！如果是这样，能不能跟国家说说，把908工程的经费要过来一部分？”
“国家的拨款，你们就不用考虑了。908计划，国家到最后也没有给拨款，他们跟我们实际没有什么区别，都是银行贷款。”
“到最后？这你是怎么知道的？算了，我不问了。”
光电在全力冲刺LCD的产能，二号线，已经到了花钱如流水的阶段。
这又是一笔以亿为单位的投资，只靠光电自身资金，是支撑不起的。真正支撑光电进行大规模投资，实际是银行借款。
这两年，光电算是把冰城各大银行都借遍了。
冰城很多企业，跑到市政府去告状，说他们的正常经营活动受到了影响。这些企业，都是正牌的国营企业，他们的声音也是很响亮的。
这种声音，其实去年就有。
光电集团的出现，确实对冰城的社会资金产生了挤占效应。光电拿到的银行贷款多了，自然，其他企业得到的银行贷款也就相应减少。
尤其在1991年三角债最严重的时期，光电的出现，使得很多企业的经营状况，雪上加霜。
但光电的出现，也不完全是负面效应。首先是LED产业链的兴起，激活了整个电子企业。这些本来是负担最重的一批企业，不需要政府救济了。
其次，光电的销售市场，基本上都是面向国际市场，所以它带来的资金完全属于额外的资金。这部分的外汇收入，到了国内，则需要被兑换为人民币，这种人民币，就属于额外增发出来的。也就是说，冰城的银行系统里，就会多出等量的资金。
正负相抵，大体持平。但具体到某些企业上，就很难说了。
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“没有国家的投资，那建晶圆厂的投资从哪里来？你准备晶圆厂和TFT…LCD，两条路同时进行吗？”
光电已经欠了一屁股债。欠银行的，欠设备供应商的，欠施工单位的。要不是看在大屏LED这棵摇钱树的面子上，早该围上来追款了。
“第一，这个晶圆厂，不会这么快启动。这个工程的启动，至少要等LCD项目上正轨，也就是《全彩科技》挣钱以后才会进行。”
“那大概是什么时候？”
“我的预期，也许是年底，也许是明年。”
建立一个新的晶圆厂，需要准备的工作很多。它不仅仅是厂房，而且包括人力资源。
TFT…LCD的人力资源，实际是通过LED产业训练出来的。
“第二个，新工厂投资不会这么大。我们也没有必要一次就追求太高的产线指标。”
成永兴在研究历史上几个重大项目的时候，总是不能很好理解过去人的一些思路。
以908为例子，这个工程的目标是，月产1。2万片、6英寸、0。8…1。2微米的芯片生产线。
而此时中国的实际工艺水准，是4…5英寸，2…3微米。这样的话，908工程的目标里，实际上包含了两个大的进步，一个是，4英寸…>；6英寸。另一个是 2微米…>；1微米。
那么问题来了，为什么要把两个大的进步，放在一个项目里去实施呢？
一个个来不好吗？解决了一个，再去解决另一个。
过高的标准，导致项目的难度加大，最后耗时七年才完成。结果一建成，就过时。
成永兴已经习惯了小步快跑的前进方法，对这种每次上大台阶的做法，实在是不习惯。
LED时代，《巨大高科》是以季度为单位进行技术演进。
LCD时代，《全彩科技》以半年为周期，向前进化。
到了晶圆时代，前进的脚步，最多是以年为单位。钱砸下去，马上要看到水花。
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“我们两个要怎么分工？”
“这次的多重图案技术验证，以叶静为主。”
成永兴想了一会，觉得叶静这种沉稳的性格，会更加合适一些。
多重图案技术，思路上非常简单，但历史上，不少企业都在这个工艺上栽了跟头，说明它还是有些难度的。
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